高纯电子刻蚀气体六氟丙烷HFC-236fa成功研制

2018-12-04 18:47

高纯1,1,1,3,3,3-六氟丙烷(HFC-236fa)在半导体工业中可作为刻蚀气体,用于某些芯片的制造过程。宇极科技经潜心研发,成功研制了满足电子刻蚀纯度要求的HFC-236fa,可作为半导体企业的备选气体之一。作为含氟化工品生产企业,宇极拥有独立自主知识产权HFC-236fa的提纯工艺技术,可产出4N级高纯产品,亦可根据不同客户的要求,对杂质组分进行有针对性的定向去除。

1,1,1,3,3,3-六氟丙烷(HFC-236fa),英文名称1,1,1,3,3,3-Hexafluoropropane,ODP为0,GWP为8060。CAS号690-39-1,UN号3163,化学式CF3CH2CF3。常温常压下是无色无味可液化的气体,化学稳定性好。

 

HFC-236fa的物化数据

HFC-236fa的应用

高纯HFC-236fa是一种新型的电子特气,用于半导体及电子产品的刻蚀。HFC-236fa也被用作重要的灭火剂原料。