三氟甲烷
三氟甲烷为电子工业等离子蚀刻工艺中重要的蚀刻气体。
三氟甲烷为电子工业等离子蚀刻工艺中重要的蚀刻气体。
| 化学名称 | 三氟甲烷 |
| 别名 | 氟仿、Fluoryl、氟利昂23、Arcton 1、HFC-23、R-23、FE-13、UN 1984 |
| CAS号 | 75-46-7 |
| ELINCS号 | 200-872-4 |
| 化学式 | CHF3 |
| 结构式 | CHF3 |
| 分子量 | 70.01 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | 14700 |
| 大气寿命（年） | 228 |
| TWA（8-hr, mg/m3） | 2.5 |
| 化学名称 | 三氟甲烷 |
| 沸点（℃） | -82.1 |
| 熔点（℃） | -155.2 |
| 液体密度（-82.1℃, g/cm3） | 1.431 |
| 蒸汽密度（空气=1） | 2.417 |
| 饱和蒸气压（20℃, MPa） | 4.38 |
| 临界温度（℃） | 25.7 |
| 临界压力（MPa） | 4.816 |
| 临界密度 （mol/L） | 7.52 |
| 水中溶解度（20℃, g/L） | 1 |
| 闪点（℃） | 不适用（不可燃） |
| 可燃性 | 不适用（不可燃） |
| 爆炸极限（%vol) | 不适用（不可燃） |
| 纯度 | 99.9% | 99.999% |
| 钢瓶规格 | 阀门 | 充装量 |
| 10L | CGA 660/DISS 716 | 7 kg |
| 44 L | CGA 660/DISS 716 | 32 kg |
