六氟-1,3-丁二烯
六氟-1,3-丁二烯/C4F6作为一种温室效应GWP极低，绿色环保的高效干蚀刻气体，具有更快刻蚀速率、更高选择性和更高精确性，更适合于高深宽比的蚀刻工艺。
六氟-1,3-丁二烯/C4F6作为一种温室效应GWP极低，绿色环保的高效干蚀刻气体，具有更快刻蚀速率、更高选择性和更高精确性，更适合于高深宽比的蚀刻工艺。
| 化学名称 | 六氟-1,3-丁二烯 |
| 别名 | 全氟丁二烯 |
| CAS号 | 685-63-2 |
| ELINCS号 | 211-681-0 |
| 化学式 | C4F6 |
| 结构式 | CF2=CF-CF=CF2 |
| 分子量 | 162.03 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | <<1 |
| 大气寿命（天） | 1.1 |
| 化学名称 | 六氟-1,3-丁二烯 |
| 沸点（℃） | 6 |
| 熔点（℃） | -130 |
| 液体密度（@20℃，g/cm3） | 1.44 |
| 临界温度（℃） | 139.6 |
| 临界压力（bar） | 31.9 |
| 纯度 | 99.9% | 99.99% |
| 包装尺寸 | 阀门型号 | 充填量 |
| 10L | CGA 350/DISS 724 | 10 kg |
| 44L | CGA 350/DISS 724 | 45 kg |
