八氟环丁烷
八氟环丁烷为电子工业等离子蚀刻工艺中重要的蚀刻气体。
八氟环丁烷为电子工业等离子蚀刻工艺中重要的蚀刻气体。
| 化学名称 | 八氟环丁烷 |
| 别名 | 全氟环丁烷；R-C318 |
| CAS号 | 115-25-3 |
| ELINCS号 | 204-075-2 |
| 化学式 | c-C4F8 |
| 结构式 |  |
| 分子量 | 200.03 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | 10600 |
| 大气寿命（年） | 3200 |
| 化学名称 | 八氟环丁烷 |
| 沸点（℃） | -5.8 |
| 熔点（℃） | -40.1 |
| 液体密度（-5.8℃, g/cm3） | 1.637 |
| 蒸汽密度（空气=1） | 7.0 |
| 饱和蒸气压（20℃,bar） | 2.7 |
| 临界温度（℃） | 115.3 |
| 临界压力（MPa） | 2.79 |
| 水中溶解度（mg/L） | 140 |
| 闪点（℃） | 不适用（不可燃） |
| 可燃性（@21℃） | 不适用（不可燃） |
| 爆炸极限（%vol) | 不适用（不可燃） |
| 纯度 | 99.9% | 99.999% |
| 钢瓶规格 | 阀门 | 充装量 |
| 44 L | CGA 660/DISS 716 | 30kg |
