1,1,1,2,3,3-六氟丙烷
六氟丙烷为电子工业等离子蚀刻工艺中重要的蚀刻气体。
六氟丙烷为电子工业等离子蚀刻工艺中重要的蚀刻气体。
| 化学名称 | 1,1,1,2,3,3-六氟丙烷 |
| 别名 | HFC-236ea |
| CAS号 | 431-63-0 |
| ELINCS号 | 207-076-6 |
| 化学式 | C3H2F6 |
| 结构式 | CF3CFH2CF2 |
| 分子量 | 152.04 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | 9120 |
| 大气寿命（年） | 213 |
| 化学名称 | 1,1,1,2,3,3-六氟丙烷 |
| 沸点（℃） | 6.19 |
| 临界温度（℃） | 139.29 |
| 临界压力（bar） | 3.5 |
| 纯度 | 99.9% | 99.99% |
| 钢瓶规格 | 阀门 | 充装量 |
| 10L | CGA 660/DISS 716 | 9 kg |
| 44 L | CGA 660/DISS 716 | 40 kg |
