3,3,3,4,4,4-六氟异丁烯

六氟异丁烯为电子工业等离子蚀刻工艺中新型蚀刻气体。

产品信息概括

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化学名称 六氟异丁烯
别名 2-三氟甲基-3,3,3-三氟丙烯,HFIB
CAS号 382-10-5
ELINCS号 206-840-6
化学式 C4H2F6
分子量 164.05
ODP(CFC-11 = 1) 0
GWP100(CO2 = 1) <1 天
大气寿命(天) 17

 

物理与化学特性

化学名称 六氟异丁烯
沸点(℃) 14.5
液体密度(@20℃,g/cm3) 1.39
水中溶解度(@20℃) 0.23

 

产品规格

纯度 99.9% 99.99%

 

包装规格

钢瓶规格 阀门 充装量
10 L CGA 660/DISS 716 7 kg
44 L CGA 660/DISS 716 30 kg