电子气体的纯度对半导体行业至关重要,直接关系到芯片的性能与制造良率。
经过科研团队持续攻关与技术创新,泉州宇极新材料科技有限公司在电子特气产品领域取得重要突破:半导体先进制程关键材料六氟丁二烯(C4F6),纯度已达行业最高的5N级(99.999%),并且实现稳定的批量供应,赢得客户认可。
作为新一代刻蚀气体,被认为是具有竞争优势的产品之一,有比C4F8更高的对光阻和氮化硅选择比,可提高产品良率;可取代CF4,用于KrF激光锐利蚀刻半导体电容器图形(Patterns)的干法工艺。
刻蚀性能:刻蚀线宽窄、深宽比高
环境性能:GWP<1
5N级电子气体的杂质控制需通过高精度提纯工艺和严格检测实现,宇极具有行业领先的分析检测能力,实现电子特气全过程分析检测,严格控制杂质含量。
泉州宇极聚力打造电子特气领域现代化工厂标杆,持续深化数字工厂管理平台建设,实现钢瓶资产全生命周期追溯、生产全工序协同管控、质量全链路合规监督、仓储智能精准运营的全流程信息化覆盖,将高效运营理念融入企业发展全链条。