行业最高!宇极六氟丁二烯纯度突破5N(99.999%)

2025-09-28 11:15

电子气体的纯度对半导体行业至关重要,直接关系到芯片的性能与制造良率。

经过科研团队持续攻关与技术创新,泉州宇极新材料科技有限公司在电子特气产品领域取得重要突破:半导体先进制程关键材料六氟丁二烯(C4F6),纯度已达行业最高的5N级(99.999%),并且实现稳定的批量供应,赢得客户认可。

 

 

六氟丁二烯:刻蚀+环保性能优异

作为新一代刻蚀气体,被认为是具有竞争优势的产品之一,有比C4F8更高的对光阻和氮化硅选择比,可提高产品良率;可取代CF4,用于KrF激光锐利蚀刻半导体电容器图形(Patterns)的干法工艺。

刻蚀性能:刻蚀线宽窄、深宽比高

环境性能:GWP<1

 

六氟丁二烯:纯度突破5N的意义

0提升芯片制造精度与良率
0满足高端制程需求
0提高蚀刻工艺稳定性
0降低生产成本
三大体系支撑宇极5N级C4F6  
01
催化剂开发体系
宇极拥有30多年催化剂开发经验,在不断地研究与探索中积累了大量数据和反应场景,建立了成熟、全面的催化剂开发体系,具备强大的催化剂开发和合成制备能力,有效支撑和推动含氟电子气体的产品合成与产业化开发。

02
贯通式开发体系
立足于国际领先的催化剂开发和合成制备能力,建立“合成+超纯”的贯通式开发体系,生产、纯化装置同步启动,打造独有的含氟电子特气制造新模式,确保产品从原材料到最终产品出厂、交付的质量可控。

03
全生命周期质量管理体系
凭借国际领先的科技创新能力、卓越的品质管理,泉州宇极构建从供应链、生产、纯化、检测、包装、运输、交付等在内的全生命周期质量管理体系,确保每个环节的质量管控,打造稳定的供应链体系。

5N级电子气体的杂质控制需通过高精度提纯工艺和严格检测实现,宇极具有行业领先的分析检测能力,实现电子特气全过程分析检测,严格控制杂质含量。

泉州宇极聚力打造电子特气领域现代化工厂标杆,持续深化数字工厂管理平台建设,实现钢瓶资产全生命周期追溯、生产全工序协同管控、质量全链路合规监督、仓储智能精准运营的全流程信息化覆盖,将高效运营理念融入企业发展全链条。